0.1um半导体晶圆片研磨抛光微粉生产厂家

MCA（平板状氧化铝研磨微粉)的晶体形状为六角平板状，不同于传统磨料的等体积或者球形，此形状使磨料颗粒在研磨过程中平行于被加工工件（如半导体硅片等）表面，产生滑动的研磨效果，而非传统的磨料滚动研磨，因而不容易对工件表面产生划伤，同时因为研磨压力是均匀分布在平板颗粒表面，颗粒破碎减少，耐磨性大幅度提高，因而能提供的磨削效率和表面光洁度。质量同日本 FUJIMI公司的PWA和美国Microgrit 的WCA相当。
板状氧化铝（国外称TabularAlumina，英语直译是片状氧化铝的意思），是指在略低于α-Al2O3熔点（2050℃）的1925℃高温下快速烧结，晶粒达到烧结完全的再结晶α-Al2O3，呈现二维平面的板片状且有较多晶间和晶内圆形封闭气孔的显微结构特征。

目前，人们根据氧化铝粉体的形貌特点主要合成出了球形、中空球形、花状、立方形、板状、菱形、针状或纤维状等几种氧化铝粉体形貌。它们有以下几个特点：

球形Al2O3粉体可以作为多孔Al2O3的支撑体，由于形成的孔较规则，因此易于使支撑体整体均匀化。分散的α-Al2O3球形微粒具有良好的压制成型和烧结特性，有利于制得高质量的陶瓷制品。

喷雾干燥法作为制备中空球形氧化铝粉体的有效方法，近年来得到了越来越多的重视。在喷雾干燥的干燥塔中，一粒浆滴被喷枪喷出去，在一定高度落下来，这个过程中它燥了。由于高温，浆料表面*干燥，表面的粘合剂和微粉颗粒合在一起形成一硬壳，封闭了球体表面，而内部水分继续*气化，形成球内气压。当气压达到一定时，气体从薄弱处冲破球体爆出，使球体出现了一个空洞。由于表面硬壳的强度和球内气压大小不同，其爆出力也不同，所以轻微的形成了苹果状，严重的形成了空洞状和算珠状。
另外，将氧化铝板晶作为*二相增韧剂加入到氧化铝陶瓷中，可以起到有效增加裂纹反射和桥联的作用，对提高陶瓷的断裂韧性有明显的效果，克服了一般氧化铝陶瓷机械性能较低而制约其更加广泛应用的不足。总之，板状氧化铝粉体有着广阔的应用前景。
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