无锡20um半导体晶圆片研磨抛光微粉

MCA（平板状氧化铝研磨微粉)的晶体形状为六角平板状，不同于传统磨料的等体积或者球形，此形状使磨料颗粒在研磨过程中平行于被加工工件（如半导体硅片等）表面，产生滑动的研磨效果，而非传统的磨料滚动研磨，因而不容易对工件表面产生划伤，同时因为研磨压力是均匀分布在平板颗粒表面，颗粒破碎减少，耐磨性大幅度提高，因而能提供的磨削效率和表面光洁度。质量同日本 FUJIMI公司的PWA和美国Microgrit 的WCA相当。
上世纪90年代末为止，中国的板状刚玉市场一直长期被外国垄断，自己没有能力生产这种的耐火材料，因此，国内企业自然而然的使用其英文名称“Tabularcorundum”作为从国外进口该材料时的称呼。这种情况一直持续到1997年，在以张会友为首的技术人员不懈的努力下，经过上千次探索，终于成功掌握了板状刚玉的烧制技术。然而在即将进行科学技术成果的前夕，一个有意思的问题了，“Tabularcorundum”这种耐材原料，实现了国产化之后，必定会遇到对内销售上的问题，而在中国企业之间使用它的英文名称“Tabularcorundum”并不方便，因此，需要给产品起个贴切的中文名字。当时的技术团队想出了很多名字，比如“烧结刚玉”、“高温刚玉”、“结晶刚玉”，甚至是由英文直译过来的“片状氧化铝”，然而这些名称都不能的体现出这种新材料的制造工艺和特性特点。由张会友先生提出的“烧结板状刚玉”，简称“板状刚玉”，则非常有意思，名字中的“烧结”二字说的是板状刚玉的烧制过程，它需要氧化铝球在1700-1900摄氏度的高温下烧制结晶而成；而“板状”二字说的则是烧制后的成品在显微镜下的理化结构呈现结晶连接的状态；“刚玉”二字则表明了它氧化铝制品的身份。

板状氧化铝（国外称TabularAlumina，英语直译是片状氧化铝的意思），是指在略低于α-Al2O3熔点（2050℃）的1925℃高温下快速烧结，晶粒达到烧结完全的再结晶α-Al2O3，呈现二维平面的板片状且有较多晶间和晶内圆形封闭气孔的显微结构特征。

**细粉体的粒径和形貌对它们的物理和化学性能有很大的影响，其形貌基本上决定了粉体的整体和表面特性。此外，粉体的结构形貌特征包括粉体的形状、化学组成、物料组成、内外表面积、体积和表面缺陷等，它们一起决定**细粉体的综合性能。

喷雾干燥法作为制备中空球形氧化铝粉体的有效方法，近年来得到了越来越多的重视。在喷雾干燥的干燥塔中，一粒浆滴被喷枪喷出去，在一定高度落下来，这个过程中它燥了。由于高温，浆料表面*干燥，表面的粘合剂和微粉颗粒合在一起形成一硬壳，封闭了球体表面，而内部水分继续*气化，形成球内气压。当气压达到一定时，气体从薄弱处冲破球体爆出，使球体出现了一个空洞。由于表面硬壳的强度和球内气压大小不同，其爆出力也不同，所以轻微的形成了苹果状，严重的形成了空洞状和算珠状。
花状和立方形氧化铝粉体可以用作催化剂载体，并且在生物材料、复合材料或用作结构增强材料等方有重要的应用价值，所以无论是对其合成方法还是形貌生成机理的研究都值得进一步的探索。
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